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• 멤스 프로브카드, MEMS Probe Card

  반도체 웨이퍼상에 형성되어 있는 각각의 집적 회로(IC) 칩의 회로가 설계대로 생성되어 있는지 검사하는 부품. 멤스(MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems) 기술을 적용하여 수 마이크로미터(㎛) 단위의 회로까지 검사할 수 있다.